Mengapa mikroskop elektron memerlukan sistem vakum?
Karena lambatnya pergerakan elektron di udara, maka perlu untuk menjaga derajat vakum mikroskop elektron melalui sistem vakum. Jika tidak, molekul di udara akan menghalangi emisi berkas elektron dan menghalangi pencitraan. Hubungkan dua jenis pompa vakum secara seri untuk mendapatkan vakum pada tabung mikroskop elektron. Ketika mikroskop elektron dihidupkan, pompa putar tahap pertama memperoleh vakum rendah sebagai pra-vakum untuk pompa tahap kedua; Tahap kedua menggunakan pompa difusi minyak untuk mencapai vakum tinggi.
Mikroskop elektron pemindaian menggunakan-berkas elektron berenergi tinggi untuk memindai dan mengambil gambar objek. Untuk memastikan resolusi pencitraan, berkas elektron perlu dikolimasi dan difokuskan seperti berkas. Jika bukan karena ruang hampa atau tingkat ruang hampa yang tidak mencukupi,-berkas elektron berenergi tinggi akan diserap atau dihamburkan saat mengenai molekul udara, sehingga mengganggu kolimasinya dan membuatnya mustahil untuk dicitrakan.
Vakum memiliki dua fungsi: pertama untuk mencegah molekul udara menghamburkan elektron, yang dapat menyebabkan buruknya pemfokusan berkas elektron; Cara lainnya adalah menghindari hilangnya energi elektron setelah tumbukan dengan molekul udara.
Pentingnya vakum untuk mikroskop elektron: Vakum memainkan peran yang sangat penting dalam mikroskop elektron. Saat mikroskop elektron bekerja, seluruh jalur berkas elektron dan sampel yang akan dianalisis akan ditempatkan pada lingkungan vakum tinggi. Jika tingkat vakum tidak cukup tinggi, pelepasan antar elektroda dapat terjadi antara gerbang dan anoda senjata elektron, yang dapat membakar filamen. Tabrakan antara berkas elektron dan partikel udara sisa juga dapat menyebabkan hamburan, sehingga elektron dalam berkas elektron tidak dapat mencapai sampel atau mengganggu analisis.
Persyaratan vakum pada mikroskop elektron: Agar elektron dalam berkas elektron dapat bergerak selancar mungkin, derajat vakum pada mikroskop elektron biasanya harus mencapai vakum tinggi dengan orde 1E-7mbar, atau bahkan vakum ultra-tinggi dengan orde 1E-10mbar; Selain derajat kevakuman, tingkat getaran selama pengoperasian pompa vakum juga menentukan. Karena penampang berkas elektron yang kecil, akurasi posisi pada sampel sangat tinggi, dan akurasi ini hanya dapat dipertahankan di lingkungan dengan tingkat getaran yang sangat rendah; Selain itu, untuk menghindari kontaminasi uap minyak pada sampel atau komponen internal mikroskop, sebaiknya gunakan pompa vakum kering bebas minyak.
