Penerapan Mikroskop Confocal di Industri Semikonduktor
Dalam proses produksi semikonduktor{0}}skala besar, chip sirkuit terpadu perlu dimasukkan ke dalam wafer, kemudian dibagi menjadi beberapa unit, dan terakhir dikemas dan disolder. Oleh karena itu, kontrol dan pengukuran ukuran alur pemotongan wafer yang tepat merupakan mata rantai penting dalam proses produksi.
Mikroskop confocal seri VT6000 adalah peralatan inspeksi mikroskopis yang diluncurkan oleh Zhongtu Instrument, banyak digunakan dalam proses manufaktur dan pengemasan semikonduktor. Ia dapat melakukan pemindaian non-kontak dan merekonstruksi morfologi tiga dimensi fitur permukaan dengan bentuk kompleks dan alur pemotongan laser yang curam.
Mikroskop confocal seri VT6000 memiliki resolusi optik yang sangat baik dan dapat mengamati karakteristik permukaan wafer secara detail melalui sistem pencitraan yang jelas, seperti mengamati apakah terdapat cacat seperti tepi patah dan goresan pada permukaan wafer. Menara listrik dapat secara otomatis beralih di antara perbesaran obyektif yang berbeda, dan perangkat lunak secara otomatis menangkap tepi fitur untuk pengukuran ukuran dua-dimensi secara cepat, sehingga lebih efektif dalam mendeteksi dan mengontrol kualitas permukaan wafer.
Dalam proses pemotongan wafer dengan laser, diperlukan penempatan yang tepat untuk memastikan bahwa alur dapat dipotong sepanjang kontur yang benar pada wafer. Kualitas segmentasi wafer biasanya diukur dari kedalaman dan lebar alur pemotongan. Mikroskop confocal seri VT6000, berdasarkan teknologi confocal dan dilengkapi dengan modul pemindaian berkecepatan tinggi, memiliki perangkat lunak analisis profesional dengan fungsi pengukuran multi area dan otomatis. Ia dapat dengan cepat merekonstruksi kontur-dimensi alur laser wafer yang diuji dan melakukan analisis multiprofil untuk memperoleh informasi kedalaman dan lebar saluran dari-penampang.
