Prinsip dan struktur mikroskop probe pemindaian
Prinsip kerja dasar pemindaian mikroskop probe adalah dengan menggunakan interaksi antara probe dan atom dan molekul permukaan sampel, yaitu ketika probe dan permukaan sampel mendekati skala nanometer ketika pembentukan berbagai medan fisik yang berinteraksi, melalui deteksi kuantitas fisik yang sesuai dan mendapatkan sampel topografi permukaan. Mikroskop probe pemindaian terdiri dari 5 bagian: probe, pemindai, sensor perpindahan, pengontrol, sistem deteksi, dan sistem gambar.
Pengontrol melalui pemindai secara vertikal dari arah pergerakan sampel untuk menstabilkan jarak antara probe dan sampel (atau kuantitas interaksi fisik) dalam nilai tetap; pada saat yang sama di bidang xy horizontal untuk memindahkan sampel, sehingga probe sesuai dengan jalur pemindaian untuk memindai permukaan sampel. Memindai mikroskop probe dalam hal menstabilkan jarak antara probe dan sampel, sistem deteksi mendeteksi sinyal interaksi antara probe dan sampel; dalam hal menstabilkan kuantitas fisik interaksi, jarak antara probe dan sampel dideteksi oleh sensor perpindahan dalam arah vertikal. Sistem gambar didasarkan pada sinyal deteksi (atau jarak antara probe dan sampel) pada permukaan sampel untuk pencitraan dan pemrosesan gambar lainnya.
Bergantung pada bidang fisik interaksi antara probe dan sampel, mikroskop probe pemindaian dibagi menjadi beberapa kelompok mikroskop. Dua jenis mikroskop probe pemindaian yang lebih umum digunakan adalah mikroskop terowongan pemindaian (STM) dan mikroskop gaya atom (AFM). Scanning Tunneling Microscopy digunakan untuk memeriksa struktur permukaan suatu sampel dengan mendeteksi besarnya arus terowongan antara probe dan sampel yang diuji. AFM mendeteksi permukaan sampel dengan mendeteksi deformasi mikrokantilever yang disebabkan oleh gaya interaksi antara ujung probe dan sampel (baik menarik atau tolak-menolak) melalui penggunaan sensor perpindahan fotolistrik.
