Berapa nanometer yang dapat dilihat oleh mikroskop confocal?
Tujuan ilmu material adalah mempelajari pengaruh struktur permukaan suatu material terhadap sifat permukaannya. Oleh karena itu, analisis topografi permukaan pada resolusi tinggi penting untuk menentukan parameter yang berkaitan dengan kekasaran permukaan, sifat reflektif, sifat tribologi, dan kualitas permukaan. Teknik confocal mampu mengukur material dengan berbagai sifat reflektif permukaan dan memperoleh data pengukuran yang efektif.
Mikroskop confocal laser, berdasarkan prinsip teknologi confocal, adalah instrumen inspeksi untuk pengukuran skala mikro dan nano pada permukaan berbagai perangkat dan bahan presisi. Resolusi pengukuran tinggi mencapai 0.5nm.
Aplikasi
1. MEMS
Pengukuran dimensi komponen mikron dan sub-mikron, pengamatan morfologi permukaan setelah berbagai proses (pengembangan, etsa, metalisasi, CVD, PVD, CMP, dll), analisis cacat.
2. Komponen mekanik presisi, perangkat elektronik
Pengukuran dimensi komponen mikron dan sub mikron, pengamatan morfologi permukaan setelah berbagai proses perawatan permukaan, proses penyolderan, analisis cacat, analisis partikel.
3.Semikonduktor/LCD
Pengamatan topografi permukaan setelah berbagai proses (pengembangan, etsa, metalisasi, CVD, PVD, CMP, dll.), analisis cacat Pengukuran lebar garis non-kontak, kedalaman langkah, dll.
4. Tribologi, korosi dan rekayasa permukaan lainnya
Pengukuran volume tanda abrasi, pengukuran kekasaran, topografi permukaan, korosi dan topografi permukaan setelah rekayasa permukaan submikron.
Spesifikasi teknis
model: VT6100
Kisaran goresan: 100*100*100mm
Rentang bidang pandang: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Pengulangan pengukuran tinggi badan (1σ): 12nm
Akurasi pengukuran tinggi badan: ± (0.2+L/100) μm
Resolusi pengukuran tinggi badan: 0,5 nm
Pengulangan pengukuran lebar (1σ): 40nm
Akurasi Pengukuran Lebar: ± 2%
Resolusi pengukuran lebar: 1nm
