1. Perbedaan struktural
Ini terutama tercermin dalam posisi sampel yang berbeda di jalur optik berkas elektron. Sampel TEM berada di tengah berkas elektron, sumber elektron memancarkan elektron di atas sampel, setelah melewati kondensor, dan kemudian menembus sampel, lensa elektromagnetik lanjutan terus memperkuat berkas elektron, dan epifisis diproyeksikan pada layar neon; sampel SEM ada di berkas elektron. Pada akhirnya, pancaran elektron yang dipancarkan oleh sumber listrik di atas sampel direduksi oleh beberapa tahap lensa elektromagnetik dan mencapai sampel. Tentu saja, struktur sistem pemrosesan sisi deteksi sinyal selanjutnya juga akan berbeda, tetapi tidak ada perbedaan substansial dalam hal prinsip fisik dasar.
2. Prinsip kerja dasar
Mikroskop elektron transmisi: Ketika berkas elektron melewati sampel, ia akan menyebar dengan atom-atom dalam sampel. Elektron yang melewati titik tertentu pada sampel pada saat yang sama berada dalam arah yang berbeda. Titik pada sampel ini berada di antara 1-2 kali panjang fokus lensa objektif. Elektron berkumpul kembali setelah diperbesar oleh lensa objektif, membentuk bayangan nyata titik yang diperbesar, yang sama dengan prinsip pencitraan lensa cembung. Ada mekanisme pembentukan kontras di sini, dan teorinya tidak dibahas secara mendalam, tetapi dapat dibayangkan bahwa jika bagian dalam sampel benar-benar seragam, tanpa batas butir, dan tanpa struktur kisi atom, maka gambar yang diperbesar tidak akan memiliki kontras apapun. Substansi semacam ini tidak ada, jadi ada alasan keberadaan instrumen semacam ini. Memindai mikroskop elektron: Berkas elektron mencapai sampel, membangkitkan elektron sekunder dalam sampel, dan elektron sekunder diterima oleh detektor, melalui pemrosesan sinyal dan memodulasi pancaran cahaya piksel pada layar, karena diameter elektron titik berkas berskala nano, dan piksel tampilannya 100 Di atas satu mikron, cahaya yang dipancarkan oleh piksel 100-di atas mikron ini mewakili cahaya yang dipancarkan oleh wilayah pada sampel yang dieksitasi oleh berkas elektron . Penguatan titik objek ini pada sampel tercapai. Jika berkas elektron dipindai raster di area sampel, kecerahan piksel layar dapat dimodulasi satu per satu dari susunan geometris, dan pencitraan yang diperbesar dari area sampel ini dapat direalisasikan.
3. Persyaratan sampel
(1) Memindai mikroskop elektron
Persiapan sampel SEM tidak memiliki persyaratan khusus pada ketebalan sampel, dan dapat menggunakan metode seperti pemotongan, penggilingan, pemolesan, atau pembelahan untuk menampilkan bagian tertentu, sehingga mengubahnya menjadi permukaan yang dapat diamati. Jika permukaan seperti itu diamati secara langsung, hanya kerusakan pemrosesan permukaan yang dapat dilihat. Umumnya, larutan kimia yang berbeda harus digunakan untuk etsa preferensial untuk menghasilkan kontras yang kondusif untuk pengamatan. Namun, korosi akan menyebabkan sampel kehilangan sebagian dari keadaan sebenarnya dari struktur aslinya, dan pada saat yang sama menimbulkan beberapa gangguan buatan.
(2) Mikroskop elektron transmisi
Karena kualitas gambar mikroskopis yang diperoleh TEM sangat bergantung pada ketebalan sampel, bagian pengamatan sampel harus sangat tipis. Misalnya, sampel TEM perangkat memori hanya dapat memiliki ketebalan 10-100 nm, yang sangat menyulitkan persiapan sampel TEM. kesulitan. Dalam proses persiapan sampel, hasil penggilingan manual atau kontrol mekanis untuk pemula tidak tinggi, dan sampel akan dibuang setelah digiling secara berlebihan. Masalah lain dalam penyiapan sampel TEM adalah penempatan titik pengamatan. Persiapan sampel umum hanya dapat memperoleh rentang pengamatan tipis sekitar 10 mm. Ketika penentuan posisi dan analisis yang tepat diperlukan, target seringkali berada di luar jangkauan pengamatan. Saat ini, solusi yang ideal adalah dengan menggunakan etsa berkas ion terfokus (FIB).
