Dibandingkan dengan mikroskop optik tradisional dan mikroskop elektron, faktor apa yang membatasi kekuatan resolusi mikroskop gaya atom?
Daya resolusi mikroskop optik tradisional dibatasi oleh batas difraksi cahaya, dan jarak resolusi minimumnya adalah setengah dari panjang gelombang cahayanya. Daya penyelesaian mikroskop elektron juga dibatasi oleh batas difraksi, dan daya penyelesaian minimumnya adalah setengah dari panjang gelombang elektron de Broglie, sehingga mikroskop elektron dapat mencapai daya penyelesaian yang lebih tinggi daripada mikroskop optik tradisional.
Kekuatan penyelesaian mikroskop gaya atom terutama bergantung pada: ukuran ujung probe; koefisien elastis kantilever mikro, semakin rendah koefisien elastis, semakin sensitif mikroskop gaya atom; rasio panjang kantilever dengan panjang sinar laser; sensitivitas detektor PSD ke posisi spot. Untuk suatu citra dengan resolusi tertentu, semakin kecil jangkauan pemindaiannya, maka topografi permukaan yang diperoleh akan semakin halus.
