Pengantar karakteristik kinerja pemindaian mikroskop elektron
Ada berbagai jenis mikroskop elektron pemindaian, dan berbagai jenis mikroskop elektron pemindaian memiliki kinerja yang berbeda. Menurut jenis senjata elektron, dapat dibagi menjadi tiga jenis: senjata elektron emisi lapangan, senjata kawat tungsten dan lantanum hexaboride [5]. Di antara mereka, mikroskop elektron pemindaian emisi lapangan dapat dibagi menjadi mikroskop elektron pemindaian emisi medan dingin dan mikroskop elektron pemindaian emisi medan termal sesuai dengan kinerja sumber cahaya. Mikroskop elektron pemindaian emisi medan dingin memerlukan kondisi vakum tinggi, arus pancaran tidak stabil, emitor memiliki masa pakai yang singkat, dan ujung jarum perlu dibersihkan secara teratur, yang terbatas pada pengamatan gambar tunggal, dan rentang aplikasinya adalah terbatas; sementara mikroskop elektron pemindaian emisi medan termal tidak hanya terus menerus Ini dapat bekerja untuk waktu yang lama, dan juga dapat dikombinasikan dengan berbagai aksesori untuk mencapai analisis komprehensif. Di bidang geologi, kita tidak hanya perlu mengamati morfologi awal sampel, tetapi juga perlu menganalisis sifat-sifat lain dari sampel yang dikombinasikan dengan penganalisa, sehingga mikroskop elektron pemindaian emisi medan termal lebih banyak digunakan.
Pemindaian mikroskop elektron (SEM) adalah instrumen presisi besar untuk analisis morfologi mikro-domain beresolusi tinggi. Ini memiliki karakteristik kedalaman bidang yang besar, resolusi tinggi, pencitraan intuitif, efek stereoskopik yang kuat, rentang pembesaran yang luas, dan sampel yang akan diuji dapat diputar dan dimiringkan dalam ruang tiga dimensi. Selain itu, ia memiliki keuntungan dari berbagai sampel terukur, hampir tidak ada kerusakan dan kontaminasi dari sampel asli, dan perolehan informasi morfologi, struktur, komposisi, dan kristalografi secara simultan. Saat ini, pemindaian mikroskop elektron telah banyak digunakan dalam penelitian mikroskopis di bidang ilmu kehidupan, fisika, kimia, keadilan, ilmu bumi, ilmu material, dan produksi industri. , Sedimentologi, Geokimia, Gemologi, Mikropaleontologi, Astrogeologi, Geologi Minyak dan Gas Bumi, Geologi Teknik dan Geologi Struktural, dll.
Meskipun mikroskop elektron pemindaian adalah bintang yang sedang naik daun dalam keluarga mikroskop, karena banyak keuntungannya, kecepatan pengembangannya sangat cepat.
1. Resolusi instrumen relatif tinggi, dan detail sekitar 6nm pada permukaan sampel dapat diamati melalui citra elektron sekunder, yang selanjutnya dapat ditingkatkan menjadi 3nm dengan menggunakan senjata elektron LaB6.
2 Pembesaran instrumen memiliki jangkauan yang luas dan dapat disesuaikan secara terus menerus. Oleh karena itu, bidang pandang yang berbeda dapat dipilih untuk pengamatan sesuai kebutuhan, dan pada saat yang sama, gambar yang jelas dengan kecerahan tinggi, yang sulit dicapai dengan mikroskop elektron transmisi umum, juga dapat diperoleh dengan perbesaran tinggi.
3 Mengamati sampel memiliki kedalaman bidang yang besar, bidang pandang yang luas, dan gambar penuh dengan tiga dimensi. Itu dapat secara langsung mengamati permukaan kasar dengan undulasi besar dan gambar fraktur logam yang tidak rata dari sampel, yang membuat orang merasa seperti berada di dunia mikroskopis.
4. Persiapan sampel sederhana. Selama sampel blok atau bubuk sedikit diproses atau tidak diproses, dapat langsung ditempatkan di mikroskop elektron pemindaian untuk pengamatan, sehingga lebih dekat dengan keadaan alami material.
5 Secara efektif dapat mengontrol dan meningkatkan kualitas gambar melalui metode elektronik, seperti pemeliharaan kecerahan dan kontras otomatis, koreksi sudut kemiringan sampel, rotasi gambar, atau meningkatkan toleransi kontras gambar melalui modulasi Y, dan kecerahan dan kegelapan berbagai bagian dari gambar Sedang. Menggunakan perangkat perbesaran ganda atau pemilih gambar, gambar dengan perbesaran berbeda dapat diamati pada layar fluoresen secara bersamaan.
6 untuk analisis komprehensif. Memasang spektrometer sinar-X dispersif panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X dispersif energi (EDX) sehingga berfungsi sebagai probe elektron dan juga dapat mendeteksi elektron yang dipantulkan, sinar-X, katodofluoresensi, elektron yang ditransmisikan, elektronik Auger dll. Memperluas aplikasi pemindaian mikroskop elektron ke berbagai metode analisis mikroskopis dan mikro-area menunjukkan keserbagunaan pemindaian mikroskop elektron. Selain itu, ia juga dapat menganalisis wilayah mikro opsional dari sampel sambil mengamati citra topografi; pasang aksesori pemegang sampel semikonduktor, dan amati langsung persimpangan PN dan cacat mikroskopis pada transistor atau sirkuit terpadu melalui penguat gambar gaya gerak listrik. Karena banyak probe elektronik mikroskop elektron pemindaian telah menyadari kontrol komputer elektronik otomatis dan semi-otomatis, kecepatan analisis kuantitatif telah sangat meningkat.
