Satu set bagian mikroskop elektron
Sumber elektron: Ini adalah katoda yang melepaskan elektron bebas, dan anoda berbentuk cincin mempercepat elektron. Perbedaan tegangan antara katoda dan anoda harus sangat tinggi, biasanya antara beberapa ribu volt dan tiga juta volt.
Elektron: Digunakan untuk memfokuskan elektron. Umumnya, lensa magnetik digunakan, dan terkadang lensa elektrostatis juga digunakan. Fungsi lensa elektron sama dengan fungsi lensa optik pada mikroskop optik. Fokus lensa optik tetap, tetapi fokus lensa elektronik dapat disesuaikan, sehingga mikroskop elektron tidak memiliki sistem lensa bergerak seperti mikroskop optik.
Perangkat vakum: Perangkat vakum digunakan untuk memastikan keadaan vakum di dalam mikroskop, sehingga elektron tidak akan diserap atau dibelokkan pada jalurnya.
Pemegang sampel: Sampel dapat ditempatkan pada pemegang sampel secara stabil. Selain itu, seringkali terdapat alat yang dapat digunakan untuk mengubah sampel (seperti memindahkan, memutar, memanaskan, mendinginkan, memanjangkan, dll.).
Detektor: Sinyal atau sinyal sekunder yang digunakan untuk mengumpulkan elektron. Proyeksi suatu sampel dapat diperoleh secara langsung dengan menggunakan mikroskop elektron transmisi (Transmission Electron Microscopy TEM). Elektron melewati sampel dalam mikroskop ini, sehingga sampel harus sangat tipis. Berat atom dari atom-atom penyusun sampel, voltase di mana elektron dipercepat, dan resolusi yang diinginkan menentukan ketebalan sampel. Ketebalan sampel dapat bervariasi dari beberapa nanometer hingga beberapa mikrometer. Semakin tinggi massa atom dan semakin rendah voltase, semakin tipis sampelnya.
Dengan mengubah sistem lensa objektif, seseorang dapat langsung memperbesar bayangan pada titik fokus objektif. Dari sini dapat diperoleh gambar difraksi elektron. Dengan menggunakan gambar ini, struktur kristal sampel dapat dianalisis.
Dalam Energy Filtered Transmission Electron Microscopy (EFTEM), orang mengukur perubahan kecepatan elektron saat melewati sampel. Dari sini, komposisi kimia sampel dapat disimpulkan, seperti distribusi unsur kimia dalam sampel.
