Mengapa pengukur ketebalan lapisan menghasilkan data yang tidak akurat selama pengukuran?
Saat menggunakan pengukur ketebalan lapisan untuk pengukuran, disarankan untuk menggunakan bahan yang diukur sebagai dasar penyesuaian nol, untuk mencegah kesalahan pengukuran yang disebabkan oleh bahan berbeda yang menyebabkan konduktivitas magnet berbeda. Tunggu hingga bagian yang sama dari bahan yang diuji bernilai nol, lalu lakukan pengukuran pada bagian yang sama, seperti memberi nol secara terpisah pada bagian tepi dan tengah benda kerja samping.
Saat menggunakan pengukur ketebalan lapisan untuk pengukuran, perhatian juga harus diberikan untuk menjaga probe dan permukaan bahan yang diukur tegak lurus untuk menghindari kesalahan yang signifikan. Jika pengukuran dilakukan pada titik yang sama, probe dapat dipindahkan setidaknya 10 sentimeter setiap kali, dan pengukuran dapat dilakukan setelah beberapa detik untuk menghindari magnetisasi bahan yang diukur dan mempengaruhi hasil pengukuran.
Permukaan luar pengukur ketebalan lapisan yang digunakan untuk penyesuaian nol harus dijaga sehalus mungkin. Jika permukaan luar tidak mulus, nilai rata-rata harus diambil tergantung situasinya, karena kekasaran permukaan luar mempunyai pengaruh yang signifikan terhadap nilai yang diukur. Struktur yang berbeda harus diukur secara terpisah dengan penyesuaian nol. Bidang harus disetel ke nol pada permukaan samping, dan permukaan cekung harus diukur setelah penyesuaian nol. Permukaan cembung harus diukur setelah penyesuaian nol untuk mencegah kesalahan pengukuran karena struktur yang berbeda.
Metode pengukuran kompensasi suhu untuk pengukur ketebalan lapisan
Metode pengukuran kompensasi suhu untuk pengukur ketebalan lapisan meliputi langkah kalibrasi koefisien suhu, langkah kalibrasi awal nol, dan langkah kerja pengukuran ketebalan, dan terakhir menghitung nilai dx ketebalan lapisan sebenarnya; Korelasi antara perubahan medan elektromagnetik kumparan induktor dan suhu digunakan, yaitu untuk mengukur nilai tak terhingga satu kali selama proses pengukuran. Koefisien perubahan suhu pada tak terhingga sebanding dengan koefisien perubahan suhu ketika probe pengukuran dekat dengan substrat benda yang diukur. Dengan memanfaatkan fitur ini untuk mencapai kompensasi suhu, kesalahan pengukuran suhu dapat dikurangi secara signifikan. Kesalahan pengukuran metode ini pada dasarnya dapat dikendalikan dalam kisaran 1%, sedangkan standar nasional kita saat ini mengharuskannya berada dalam kisaran 3%. Sebagai perbandingan, akurasi pengukuran metode ini telah mencapai akurasi pengukuran mesin merek internasional, yang masih berada pada level yang sangat tinggi di Tiongkok.
