Apa prinsip kerja Pemindaian mikroskop elektron?
Karena mikroskop elektron transmisi digunakan untuk pencitraan TE, maka perlu dipastikan bahwa ketebalan sampel berada dalam kisaran ukuran yang dapat ditembus berkas elektron. Untuk mencapai hal ini, berbagai metode persiapan sampel yang rumit diperlukan untuk mengubah sampel berukuran besar ke tingkat yang dapat diterima untuk mikroskop elektron transmisi.
Tujuan yang dikejar oleh para ilmuwan adalah memanfaatkan secara langsung sifat material dari material permukaan sampel untuk pencitraan mikroskopis.
Melalui upaya, ide ini menjadi kenyataan - Pemindaian mikroskop elektron (SEM).
SEM - Instrumen optik elektron yang memindai permukaan sampel yang diamati dengan berkas elektron yang sangat tipis, mengumpulkan serangkaian informasi elektronik yang dihasilkan oleh interaksi antara berkas elektron dan sampel, dan gambar setelah konversi dan amplifikasi. Ini adalah alat yang bermanfaat untuk mempelajari struktur permukaan tiga dimensi.
Prinsip kerjanya adalah:
Dalam tabung lensa vakum tinggi, berkas elektron yang dihasilkan oleh senjata elektron difokuskan menjadi berkas halus oleh lensa konvergensi elektron, lalu memindai dan membombardir permukaan sampel titik demi titik untuk menghasilkan serangkaian informasi elektronik (Elektron sekunder, kembali elektron refleksi, elektron transmisi, elektron serapan, dan sebagainya). Detektor menerima berbagai sinyal elektronik, memperkuatnya dengan penguat elektronik, dan kemudian memasukkannya ke dalam tabung gambar yang dikendalikan oleh jaringan tabung gambar.
Saat memindai permukaan sampel dengan berkas elektron terfokus, karena perbedaan sifat fisik dan kimia, potensial permukaan, komposisi unsur, dan morfologi permukaan cembung cekung di berbagai bagian sampel, informasi elektronik tereksitasi oleh berkas elektron berbeda, menghasilkan perubahan konstan intensitas berkas elektron pada tabung pencitraan. Terakhir, gambar yang sesuai dengan struktur permukaan sampel dapat diperoleh pada layar fluoresen tabung pencitraan. Menurut sinyal elektronik berbeda yang diterima oleh detektor, gambar elektron hamburan balik, gambar elektron sekunder, dan gambar elektron serapan sampel dapat diperoleh masing-masing.
Seperti dijelaskan di atas, mikroskop elektron Pemindaian sebagian besar memiliki modul berikut: Modul sistem optik elektron, modul tegangan tinggi, modul sistem vakum, modul deteksi sinyal mikro, modul kontrol, modul kontrol meja perpindahan mikro, dll.
