Apa faktor yang mempengaruhi resolusi mikroskop elektron transmisi?
A. Insiden diameter tempat berkas elektron: itu adalah batas kekuatan resolusi pemindaian mikroskop elektron. Secara umum, diameter titik sinar minimum dari pistol elektron katoda panas dapat dikurangi menjadi 6nm, dan senjata elektron emisi lapangan dapat membuat diameter titik sinar lebih kecil dari 3nm.
B. Efek ekspansi berkas elektron yang datang dalam sampel: tingkat difusi bergantung pada energi berkas elektron yang datang dan nomor atom sampel. Semakin tinggi energi berkas datang, semakin kecil nomor atom sampel, semakin besar volume berkas elektron, dan area di mana sinyal dihasilkan meningkat dengan difusi berkas elektron, sehingga mengurangi resolusi.
C. Metode pencitraan dan sinyal modulasi yang digunakan: ketika elektron sekunder digunakan sebagai sinyal modulasi, karena energinya rendah (kurang dari 50 eV) dan jalur bebas rata-rata pendek (sekitar 10-100 nm), hanya lapisan permukaan dari 50-100 nm Elektron sekunder dalam rentang kedalaman hanya dapat lepas dari permukaan sampel, dan jumlah hamburan yang terjadi sangat terbatas, dan pada dasarnya tidak meluas secara lateral. Oleh karena itu, resolusi gambar elektron sekunder kira-kira sama dengan diameter titik berkas. Ketika elektron hamburan balik digunakan sebagai sinyal modulasi, energi elektron hamburan balik relatif tinggi dan kemampuan penetrasinya kuat, sehingga mereka dapat melepaskan diri dari area yang lebih dalam pada sampel (sekitar 30 persen dari kedalaman efektif). Dalam rentang kedalaman ini, elektron datang memiliki ekspansi lateral yang cukup luas, sehingga resolusi citra elektron hambur balik lebih rendah daripada citra elektron sekunder, umumnya sekitar 500-2000nm. Jika mode operasi lain seperti penyerapan elektron, sinar-X, katodofluoresensi, konduktansi atau potensial yang diinduksi berkas digunakan sebagai sinyal modulasi, karena sinyal berasal dari seluruh area hamburan berkas elektron, resolusi gambar pemindaian yang diperoleh relatif rendah , umumnya pada l 000 nm Atau di atas l0000nm.
