Apa metode kalibrasi untuk pengukur ketebalan lapisan?
Apa metode kalibrasi untuk pengukur ketebalan lapisan? Ada tiga metode kalibrasi utama untuk pengukur ketebalan lapisan, yaitu kalibrasi sistem, kalibrasi dua titik, dan kalibrasi berbasis besi. Dalam keadaan normal, hanya kalibrasi berbasis besi yang diperlukan untuk pengukuran yang akurat. Ketika magnetisme dan kekasaran permukaan dasar besi instrumen dan dasar besi objek yang diukur sangat berbeda, kalibrasi sistem dapat dilakukan untuk memastikan akurasi pengukuran. Selanjutnya, kami akan memperkenalkan metode kalibrasi pengukur ketebalan lapisan secara detail.
(1) Kalibrasi berbasis besi
Sifat magnetik dan kekasaran permukaan logam dasar standar instrumen harus serupa dengan logam dasar benda uji. Untuk memastikan keakuratan pengukuran, kalibrasi berbasis besi dapat dilakukan sebelum mengukur benda uji.
Metode kalibrasi: Setelah instrumen dihidupkan, pertama tempatkan probe pada substrat benda uji yang terbuka untuk mengukur, ukur dua kali, tekan tombol "CAL" sambil menahan probe untuk kedua kalinya setelah pengukuran kedua, lalu Kalibrasi berbasis besi dapat dilakukan. Jika tidak ada dua bunyi bip, berarti operasinya salah. Ulangi langkah di atas hingga terdengar dua bunyi bip.
(2) Kalibrasi dua titik
Selama proses pengukuran, jika ditemukan bahwa penyimpangan nilai terukur individu besar, dapat disesuaikan dengan metode kalibrasi dua titik.
Metode kalibrasi: ukur benda uji dengan ketebalan yang diketahui sebagai sampel standar, jika nilai yang ditampilkan tidak sesuai dengan nilai sebenarnya, Anda dapat menggunakan tombol "▲" dan "▼" untuk menambah atau mengurangi 1. Tekan dan tahan tombol " ▲" dan "▼" untuk melakukan penambahan dan pengurangan terus menerus hingga nilai yang ditampilkan sama dengan nilai sebenarnya. Pengukuran normal dapat dilakukan setelah kalibrasi selesai.
Catatan: Ketebalan benda uji yang dipilih selama kalibrasi dua titik tidak boleh mendekati nilai lima sampel selama kalibrasi sistem, jika tidak operasi akan menjadi tidak valid.
Saat kalibrasi sampel kelima selesai, layar akan menampilkan "0000'', dan masuk ke antarmuka boot seperti yang ditunjukkan pada Gambar A. Instrumen kini telah menyelesaikan proses kalibrasi sistem. Setelah itu, DUT dapat diukur secara langsung.
Catatan: Kelima sampel ini dapat menggunakan lembaran standar yang disediakan atau sampel dengan ketebalan yang dikenal sebagai lembaran standar. Kalibrasi sampel harus dilakukan secara berurutan dari kecil ke besar, dan harus ada perbedaan tertentu antara sampel yang berdekatan.
