Jenis dan fitur pemindaian mikroskop elektron
Ada berbagai jenis mikroskop elektron pemindaian, dan berbagai jenis pemindaian mikroskop elektron memiliki perbedaan kinerja. Menurut jenis senjata elektron, itu dapat dibagi menjadi tiga jenis: pistol elektron emisi lapangan, pistol kawat tungsten, dan lanthanum hexaboride. Di antara mereka, mikroskop elektron pemindaian emisi medan dapat dibagi menjadi mikroskop elektron pemindaian emisi dingin dan mikroskop elektron pemindaian emisi medan panas berdasarkan kinerja sumber cahaya. Mikroskop elektron pemindaian emisi dingin membutuhkan kondisi vakum yang tinggi, arus balok yang tidak stabil, umur emitor pendek, dan membutuhkan pembersihan ujung jarum secara teratur, yang terbatas pada pengamatan gambar tunggal dan memiliki rentang aplikasi terbatas; Mikroskop elektron pemindaian emisi termal tidak hanya memiliki waktu kerja yang berkelanjutan yang lama, tetapi juga dapat dikombinasikan dengan berbagai aksesori untuk mencapai analisis komprehensif. Di bidang geologi, kita tidak hanya perlu mengamati morfologi pendahuluan sampel, tetapi juga perlu menganalisis sifat -sifat sampel lain dalam kombinasi dengan analisis, sehingga penerapan mikroskop elektron pemindaian emisi termal lebih luas.
Meskipun pemindaian mikroskop elektron adalah pendatang baru dalam keluarga mikroskop, kecepatan pengembangannya sangat cepat karena banyak keunggulannya.
Instrumen ini memiliki resolusi tinggi dan dapat mengamati detail sekitar 6nm pada permukaan sampel melalui pencitraan elektron sekunder. Dengan menggunakan pistol elektron LAB6, itu dapat ditingkatkan lebih lanjut menjadi 3nm.
Instrumen ini memiliki berbagai perubahan perbesaran dan dapat disesuaikan secara terus menerus. Oleh karena itu, berbagai ukuran bidang pandang dapat dipilih untuk pengamatan sesuai kebutuhan, dan gambar yang jelas dengan kecerahan tinggi yang sulit dicapai dengan mikroskop elektron transmisi umum juga dapat diperoleh pada perbesaran tinggi.
Kedalaman bidang dan bidang pandang sampel besar, dan gambarnya kaya akan pengertian tiga dimensi. Ini dapat secara langsung mengamati permukaan kasar dengan undulasi besar dan gambar fraktur logam yang tidak rata dari sampel, memberi orang rasa hadir di dunia mikroskopis.
Persiapan 4 sampel sederhana. Selama blok atau sampel bubuk sedikit dirawat atau tidak diobati, mereka dapat secara langsung diamati di bawah mikroskop elektron pemindaian, yang lebih dekat dengan keadaan alami zat tersebut.
5. Kualitas gambar dapat dikontrol dan ditingkatkan secara efektif melalui metode elektronik, seperti pemeliharaan kecerahan dan kontras otomatis, koreksi sudut kemiringan sampel, rotasi gambar, atau peningkatan toleransi kontras gambar melalui modulasi Y, serta kecerahan dan kegelapan sedang di berbagai bagian gambar. Dengan menggunakan perangkat pembesaran ganda atau pemilih gambar, gambar dengan perbesaran yang berbeda dapat diamati secara bersamaan pada layar fluorescent.
6 dapat mengalami analisis komprehensif. Pasang spektrometer x-ray dispersif panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X dispersif energi (EDX) untuk memungkinkannya berfungsi sebagai probe elektron dan mendeteksi elektron yang dipantulkan, sinar-X, katodoluminesensi, elektron yang ditransmisikan, elektron auger, dll yang dipancarkan oleh sampel. Memperluas aplikasi pemindaian mikroskop elektron ke berbagai metode analisis mikroskopis dan area mikro telah menunjukkan multifungsi pemindaian mikroskop elektron. Selain itu, juga dimungkinkan untuk menganalisis area mikro yang dipilih dari sampel sambil mengamati citra morfologi; Dengan memasang lampiran pemegang sampel semikonduktor, persimpangan PN dan cacat mikro dalam transistor atau sirkuit terintegrasi dapat secara langsung diamati melalui penguat gambar gaya elektromotif. Karena implementasi komputer elektronik kontrol otomatis dan semi-otomatis untuk banyak pemindaian probe elektron mikroskop elektron, kecepatan analisis kuantitatif telah sangat ditingkatkan.
