Untuk meningkatkan resolusi, yaitu menurunkan nilai σ, caranya
(1) Kurangi nilai panjang gelombang λ dan gunakan sumber cahaya dengan panjang gelombang pendek.
(2) Tingkatkan nilai n menengah untuk meningkatkan nilai NA (NA=nsinu/2).
(3) Tingkatkan nilai sudut apertur u untuk meningkatkan nilai NA.
(4) Tingkatkan kontras antara terang dan gelap.
