Komponen utama mikroskop elektron adalah:
Sumber elektron: katoda yang melepaskan elektron bebas dan anoda berbentuk cincin yang mempercepat elektron. Perbedaan tegangan antara katoda dan anoda harus sangat tinggi, biasanya antara beberapa ribu hingga 3 juta volt.
Elektron: digunakan untuk memfokuskan elektron. Biasanya digunakan lensa magnet, terkadang digunakan lensa elektrostatis. Lensa elektron bertindak dengan cara yang sama seperti lensa optik pada mikroskop optik. Fokus lensa optik bersifat tetap, sedangkan fokus lensa elektron dapat diatur, sehingga mikroskop elektron tidak memiliki sistem lensa bergerak seperti mikroskop optik.
Unit vakum: Unit vakum digunakan untuk memastikan ruang hampa di dalam mikroskop sehingga elektron tidak diserap atau dibelokkan pada jalurnya.
Tempat Sampel: Sampel dapat distabilkan di tempat sampel. Selain itu sering kali ada perangkat yang dapat digunakan untuk mengubah sampel (misalnya memindahkan, memutar, memanaskan, mendinginkan, meregangkan, dll).
Detektor: Digunakan untuk mengumpulkan sinyal atau sinyal sekunder dari elektron. Jenisnya menggunakan mikroskop elektron transmisi
Mikroskop (TransmissionElectronMicroscopyTEM) memungkinkan untuk memperoleh proyeksi langsung suatu sampel. Pada mikroskop jenis ini elektron melewati sampel, sehingga sampel harus sangat tipis. Berat atom atom yang membentuk sampel, tegangan percepatan elektron, dan resolusi yang diinginkan menentukan ketebalan sampel. Ketebalan sampel dapat bervariasi dari beberapa nanometer hingga beberapa mikron. Semakin tinggi berat atom dan semakin rendah tegangan, sampel harus semakin tipis.
Dengan mengubah sistem lensa lensa objektif seseorang dapat langsung memperbesar bayangan pada titik fokus lensa objektif. Hal ini memungkinkan seseorang memperoleh gambar difraksi elektron.
gambar difraksi. Dengan menggunakan gambar ini, struktur kristal sampel dapat dianalisis.
Dalam Mikroskop Elektron Transmisi Terfilter Energi (EFTEM) seseorang mengukur perubahan kecepatan elektron saat melewati sampel. Dari sini dimungkinkan untuk menyimpulkan komposisi kimia sampel, seperti distribusi unsur kimia dalam sampel.
