Prinsip Komposisi Mikroskop Elektron
Mikroskop elektron terdiri dari tiga bagian: laras cermin, sistem vakum dan kabinet listrik. Laras lensa terutama memiliki senapan elektron, lensa elektron, tempat sampel, layar fluoresen dan mekanisme kamera serta komponen lainnya, komponen ini biasanya dirangkai dari atas ke bawah menjadi sebuah kolom; sistem vakum terdiri dari pompa vakum mekanis, pompa difusi dan katup vakum, dan melalui pipa pemompaan yang dihubungkan dengan laras lensa; kabinet catu daya terdiri dari generator tegangan tinggi, pengatur arus eksitasi dan berbagai unit kontrol pengatur.
Lensa elektron merupakan bagian terpenting pada laras mikroskop elektron, simetris terhadap sumbu laras medan listrik ruang atau medan magnet sehingga jalur elektron menuju sumbu pembentukan pemfokusan peran kaca. lensa cembung membuat peran pemfokusan berkas cahaya mirip dengan peran kaca, sehingga disebut lensa elektron. Kebanyakan mikroskop elektron modern menggunakan lensa elektromagnetik, dengan arus eksitasi DC yang sangat stabil melalui kumparan dengan sepatu kutub yang dihasilkan oleh medan magnet yang kuat untuk memfokuskan elektron.
Pistol elektron adalah komponen yang terdiri dari katoda panas tungsten, gerbang dan katoda. Ia memancarkan dan membentuk berkas elektron dengan kecepatan seragam, sehingga stabilitas tegangan percepatan harus tidak kurang dari satu bagian dalam sepuluh ribu.
Mikroskop elektron dapat dibagi menjadi mikroskop elektron transmisi, mikroskop elektron pemindaian, mikroskop elektron refleksi, dan mikroskop elektron emisi menurut struktur dan kegunaannya. Mikroskop elektron transmisi sering digunakan untuk mengamati mereka yang menggunakan mikroskop biasa tidak dapat membedakan struktur halus bahan; pemindaian mikroskop elektron terutama digunakan untuk mengamati morfologi permukaan padat, tetapi juga dengan difraktometer sinar-X atau spektrometer elektron yang digabungkan untuk membentuk mikro elektron yang dibentuk oleh sampel atom hingga hamburan berkas elektron. Bagian sampel yang lebih tipis atau kurang padat memiliki hamburan berkas elektron yang lebih sedikit, sehingga lebih banyak elektron yang melewati bilah cahaya lensa objektif dan berpartisipasi dalam pencitraan, sehingga tampak lebih terang pada gambar. Sebaliknya, bagian sampel yang lebih tebal atau lebih padat akan tampak lebih gelap pada gambar. Jika sampel terlalu tebal atau padat, kontras gambar akan menurun dan bahkan dapat rusak atau hancur karena penyerapan energi dari berkas elektron.
Kegunaan Mikroskop Elektron
Mikroskop elektron dapat dibagi menjadi mikroskop elektron transmisi, mikroskop elektron pemindaian, mikroskop elektron refleksi, dan mikroskop elektron emisi menurut struktur dan kegunaannya. Mikroskop elektron transmisi sering digunakan untuk mengamati mereka yang menggunakan mikroskop biasa tidak dapat membedakan struktur halus bahan; pemindaian mikroskop elektron terutama digunakan untuk mengamati morfologi permukaan padat, tetapi juga dengan difraktometer sinar-X atau spektrometer elektron yang digabungkan untuk membentuk mikroprobe elektron, digunakan untuk analisis komposisi material; mikroskop elektron emisi untuk mempelajari permukaan emisi elektron sendiri.
