Prinsip dan penerapan Pemindaian mikroskop elektron
Dibandingkan dengan mikroskop optik dan mikroskop elektron transmisi, mikroskop elektron pemindaian memiliki karakteristik sebagai berikut:
（1） Mampu mengamati langsung struktur permukaan sampel, dengan ukuran sampel hingga 120mm × 80mm × 50mm.
（2） Proses persiapan sampel sederhana dan tidak perlu dipotong menjadi irisan tipis.
（3） Sampel dapat diterjemahkan dan diputar secara tiga dimensi di dalam ruang sampel, sehingga dapat diamati dari berbagai sudut.
（4） Kedalaman bidangnya besar, dan gambarnya kaya akan kesan tiga dimensi. Kedalaman bidang pemindaian mikroskop elektron beberapa ratus kali lebih besar dibandingkan mikroskop optik dan beberapa puluh kali lebih besar dibandingkan mikroskop elektron transmisi.
（5） Rentang perbesaran gambarnya lebar, dan resolusinya juga relatif tinggi. Ini dapat diperbesar dari puluhan hingga ratusan ribu kali, dan pada dasarnya mencakup rentang amplifikasi dari kaca pembesar, mikroskop optik hingga mikroskop elektron transmisi. Resolusinya antara mikroskop optik dan mikroskop elektron transmisi, mencapai hingga 3nm.
（6） Kerusakan dan kontaminasi sampel oleh berkas elektron relatif kecil.
（7） Saat mengamati morfologi, sinyal lain yang dipancarkan dari sampel juga dapat digunakan untuk analisis komposisi zona mikro.
Struktur dan prinsip kerja pemindaian mikroskop elektron
（1） Struktur 1. Tabung cermin
Laras lensa mencakup senjata elektron, kondensor, objektif, dan sistem pemindaian. Fungsinya untuk menghasilkan berkas elektron yang sangat halus (dengan diameter sekitar beberapa nanometer), dan membuat berkas elektron memindai permukaan sampel, sekaligus menstimulasi berbagai sinyal.
2. Sistem pengumpulan dan pemrosesan sinyal elektronik
Di ruang sampel, berkas elektron pemindaian berinteraksi dengan sampel untuk menghasilkan berbagai sinyal, termasuk elektron sekunder, elektron hamburan balik, sinar-X, elektron serapan, elektron Auger, dll. Di antara sinyal-sinyal di atas, yang paling penting adalah sinyal Elektron sekunder, yaitu elektron terluar dalam atom sampel yang tereksitasi oleh elektron yang datang, dihasilkan di area beberapa nm hingga puluhan nm di bawah permukaan sampel, dan laju produksinya terutama bergantung pada morfologi dan komposisi sampel. Secara umum, gambar pemindaian listrik mengacu pada gambar elektron sekunder, yang merupakan sinyal elektronik paling berguna untuk mempelajari morfologi permukaan sampel. Probe detektor untuk mendeteksi elektron Sekunder (Gbr. 15 (2)) adalah sintilator. Ketika elektron mengenai sintilator, 1 menghasilkan cahaya di dalamnya. Cahaya ini ditransmisikan oleh fotokonduktor ke tabung Photomultiplier, dan sinyal optik diubah menjadi sinyal arus. Setelah pra amplifikasi dan amplifikasi video, sinyal arus diubah menjadi sinyal tegangan, dan akhirnya dikirim ke jaringan tabung gambar.
