Nama dan fungsi masing-masing bagian mikroskop confocal
Berdasarkan prinsip teknologi confocal, mikroskop confocal digunakan untuk mengukur permukaan berbagai perangkat dan material presisi pada tingkat mikro dan nano, dan dapat secara langsung menggambarkan morfologi permukaan sampel material, dengan resolusi lateral hingga 1 nm dan resolusi sumbu Z hingga 0,5 nm. Ini tidak hanya dapat mengukur morfologi permukaan sampel dan menyediakan fungsi untuk mengkarakterisasi morfologi mikroskopis dari pengukuran ukuran profil, tetapi juga menyediakan lima fungsi analitik utama, seperti analisis kekasaran, analisis profil geometris, analisis struktural, analisis frekuensi dan fungsional. analisis. Analisis kekasaran, analisis profil geometri, analisis struktur, analisis frekuensi, dan analisis fungsional juga disediakan.
Analisis kekasaran mencakup analisis parameter penuh menurut kekasaran garis ISO4287, kekasaran permukaan ISO25178, kerataan ISO12781, dll.; analisis kontur geometris mencakup pengukuran tinggi langkah, jarak, sudut, kelengkungan, dan fitur lainnya serta penilaian kelurusan, kebulatan, dan toleransi bentuk; analisis struktur mencakup volume lubang dan kedalaman bak, dll.; analisis frekuensi meliputi arah butir dan analisis spektrum; analisis fungsional meliputi analisis arah dan spektrum frekuensi; analisis frekuensi meliputi analisis arah dan spektrum frekuensi; dan analisis fungsional juga tersedia. Analisis frekuensi meliputi analisis arah tekstur dan spektrum; Analisis fungsional meliputi parameter SK dan parameter volume.
Struktur mikroskop confocal terutama terdiri dari: mikroskop, sumber cahaya laser, perangkat pemindai, detektor, sistem komputer (termasuk akuisisi data, pemrosesan, konversi, perangkat lunak aplikasi), perangkat keluaran gambar, perangkat optik, dan sistem confocal.
Dalam bidang keramik, logam, semikonduktor, chip dan ilmu material lainnya serta bidang inspeksi produksi, mikroskop confocal memiliki beragam aplikasi. Mikroskop confocal berdasarkan prinsip mikroskop confocal, pemindaian non-kontak pada permukaan perangkat dan pembentukan gambar 3D permukaan, melalui perangkat lunak sistem pada pemrosesan dan analisis data gambar 3D permukaan perangkat, sehingga diperoleh 2D, 3D parameter yang mencerminkan kualitas permukaan perangkat, untuk mencapai pengukuran 3D morfologi permukaan perangkat.
Dapat digunakan secara luas dalam pembuatan semikonduktor dan inspeksi proses pengemasan, layar kaca elektronik 3C dan suku cadang presisinya, pemrosesan optik, manufaktur bahan mikro-nano, suku cadang otomotif, perangkat MEMS dan industri permesinan ultra-presisi lainnya serta ruang angkasa, lembaga penelitian ilmiah dan bidang lainnya. Mengukur dan menganalisis profil permukaan, cacat permukaan, keausan, korosi, kerataan, kekasaran, kerutan, jarak pori, tinggi langkah, deformasi tekukan, pemrosesan, dan fitur permukaan lainnya dari berbagai produk, komponen, dan permukaan material.
