Pengantar struktur mikroskop elektron
Mikroskop elektron terdiri dari tiga bagian: laras lensa, sistem vakum, dan kabinet catu daya. Laras lensa terutama mencakup senjata elektron, lensa elektron, pemegang sampel, layar neon, dan mekanisme kamera. Komponen-komponen ini biasanya dirangkai menjadi kolom dari atas ke bawah; sistem vakum terdiri dari pompa vakum mekanis, pompa difusi, dan katup vakum. Pipa gas dihubungkan dengan laras lensa, dan kabinet daya terdiri dari generator tegangan tinggi, penstabil arus eksitasi, dan berbagai unit kontrol penyesuaian.
◆Lensa elektronik
Lensa elektron adalah bagian terpenting dari laras lensa mikroskop elektron. Ini menggunakan medan listrik ruang atau medan magnet yang simetris dengan sumbu laras lensa untuk membengkokkan jalur elektron ke sumbu untuk membentuk fokus. Fungsinya mirip dengan lensa kaca cembung untuk memfokuskan berkas, sehingga disebut elektron. lensa. Sebagian besar mikroskop elektron modern menggunakan lensa elektromagnetik, yang memfokuskan elektron melalui medan magnet kuat yang dihasilkan oleh arus eksitasi DC yang sangat stabil yang melewati koil dengan sepatu kutub.
◆Pistol elektron
Pistol elektron adalah komponen yang terdiri dari katoda panas filamen tungsten, kisi-kisi dan katoda. Itu dapat memancarkan dan membentuk berkas elektron dengan kecepatan yang seragam, sehingga stabilitas tegangan percepatan harus tidak kurang dari sepersepuluh ribu.
