Pengantar karakteristik kinerja pemindaian mikroskop elektron
Pengantar karakteristik kinerja pemindaian mikroskop elektron
Ada berbagai jenis mikroskop elektron pemindaian, dan berbagai jenis mikroskop elektron pemindaian memiliki perbedaan kinerja. Menurut jenis senjata elektronnya, dapat dibagi menjadi tiga jenis: senjata elektron emisi lapangan, senjata kawat tungsten dan lantanum heksaborida [5]. Diantaranya, mikroskop elektron pemindaian emisi lapangan dapat dibagi menjadi mikroskop elektron pemindaian emisi medan dingin dan mikroskop elektron pemindaian emisi medan panas sesuai dengan kinerja sumber cahaya. Mikroskop elektron pemindaian emisi medan dingin memiliki persyaratan tinggi untuk kondisi vakum, arus pancaran tidak stabil, masa pakai emitor yang pendek, dan kebutuhan untuk membersihkan ujungnya secara teratur. Ini terbatas pada pengamatan gambar tunggal dan memiliki jangkauan aplikasi yang terbatas; sedangkan pemindaian emisi medan termal dengan mikroskop elektron tidak hanya terus menerus. Ia memiliki waktu kerja yang lama dan dapat digunakan dengan berbagai aksesori untuk mencapai analisis yang komprehensif. Di bidang geologi, kita tidak hanya perlu melakukan pengamatan morfologi awal sampel, tetapi juga perlu menggabungkan alat analisa untuk menganalisis sifat-sifat lain dari sampel, sehingga mikroskop elektron pemindaian emisi medan termal lebih banyak digunakan.
Mikroskop elektron pemindaian (SEM) adalah instrumen presisi skala besar yang digunakan untuk analisis morfologi wilayah mikro resolusi tinggi. Ini memiliki karakteristik kedalaman bidang yang besar, resolusi tinggi, pencitraan intuitif, indera tiga dimensi yang kuat, rentang pembesaran yang luas, dan sampel yang akan diuji dapat diputar dan dimiringkan dalam ruang tiga dimensi. Selain itu, ia memiliki keunggulan berupa jenis sampel terukur yang kaya, hampir tidak ada kerusakan atau kontaminasi pada sampel asli, dan kemampuan untuk memperoleh informasi morfologi, struktur, komposisi, dan kristalografi pada saat yang bersamaan. Saat ini, pemindaian mikroskop elektron telah banyak digunakan dalam penelitian mikroskopis di bidang ilmu hayati, fisika, kimia, peradilan, ilmu kebumian, ilmu material, dan produksi industri. Dalam ilmu kebumian sendiri meliputi kristalografi, mineralogi, dan deposit mineral. , sedimentologi, geokimia, gemologi, mikropaleontologi, geologi astronomi, geologi minyak dan gas, geologi teknik dan geologi struktur, dll.
Meskipun pemindaian mikroskop elektron merupakan salah satu produk baru dalam keluarga mikroskop, ia berkembang pesat karena banyak kelebihannya.
1. Resolusi instrumennya tinggi. Ia dapat mengamati detail sekitar 6 nm pada permukaan sampel melalui gambar elektron sekunder. Dengan menggunakan senjata elektron LaB6, ini dapat ditingkatkan lebih lanjut menjadi 3nm.
2 Pembesaran instrumen memiliki berbagai perubahan dan dapat disesuaikan secara terus menerus. Oleh karena itu, Anda dapat memilih berbagai ukuran bidang pandang untuk observasi sesuai dengan kebutuhan Anda. Pada saat yang sama, Anda juga dapat memperoleh gambar jernih dengan kecerahan tinggi pada perbesaran tinggi yang sulit dicapai dengan mikroskop elektron transmisi umum.
3. Kedalaman bidang pengamatan sampel besar, bidang pandang besar, dan gambar penuh tiga dimensi. Permukaan kasar dengan fluktuasi besar dan gambaran retakan logam yang tidak rata pada sampel dapat diamati secara langsung, memberikan perasaan seperti mengunjungi dunia mikroskopis secara langsung.
4. Persiapan sampelnya sederhana. Selama sampel balok atau bubuk tersebut sedikit diproses atau tidak diproses, maka dapat langsung ditempatkan di mikroskop elektron pemindai untuk diamati, sehingga lebih mendekati keadaan alami materi.
5. Kualitas gambar dapat dikontrol dan ditingkatkan secara efektif melalui metode elektronik, seperti pemeliharaan otomatis kecerahan dan kontras, koreksi sudut kemiringan sampel, rotasi gambar, atau peningkatan toleransi kontras gambar melalui modulasi Y, serta kecerahan dan kegelapan masing-masing bagian dari gambar. Sedang. Dengan menggunakan perangkat pembesaran ganda atau pemilih gambar, gambar dengan perbesaran berbeda dapat diamati pada layar fluoresen secara bersamaan.
6 Analisis komprehensif dapat dilakukan. Dilengkapi dengan spektrometer sinar-X dispersif panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X dispersif energi (EDX), ia memiliki fungsi sebagai probe elektron dan juga dapat mendeteksi elektron yang dipantulkan, sinar-X, fluoresensi katoda, elektron transmisi, dan Auger dipancarkan oleh sampel. Elektronik dll. Penerapan pemindaian mikroskop elektron yang diperluas ke berbagai metode analisis mikroskopis dan area mikro menunjukkan keserbagunaan pemindaian mikroskop elektron. Selain itu, Anda juga dapat menganalisis area mikro terpilih dari sampel sambil mengamati gambar morfologi; dengan memasang aksesori pemegang sampel semikonduktor, Anda dapat langsung mengamati sambungan PN dan cacat mikroskopis pada transistor atau sirkuit terpadu melalui penguat gambar gaya gerak listrik. Karena banyak pemindai elektron mikroskop elektron telah menyadari kontrol otomatis dan semi-otomatis oleh komputer elektronik, kecepatan analisis kuantitatif telah meningkat pesat.
