Pengantar Fitur Pemindaian Mikroskop Elektron
Pemindaian mikroskop elektron (SEM) adalah instrumen presisi besar yang digunakan untuk analisis morfologi area mikro resolusi tinggi. Ia memiliki karakteristik kedalaman bidang yang besar, resolusi tinggi, pencitraan intuitif, rasa tiga dimensi yang kuat, rentang pembesaran yang luas, dan kemampuan untuk memutar dan memiringkan sampel uji dalam ruang tiga dimensi. Selain itu, ia memiliki keunggulan berupa beragam jenis sampel yang dapat diukur, hampir tidak ada kerusakan atau kontaminasi pada sampel asli, dan kemampuan untuk memperoleh informasi morfologi, struktur, komposisi, dan kristalografi secara bersamaan. Saat ini, pemindaian mikroskop elektron telah banyak digunakan dalam penelitian mikroskopis di berbagai bidang seperti ilmu hayati, fisika, kimia, peradilan, ilmu bumi, ilmu material, dan produksi industri. Dalam bidang ilmu kebumian sendiri meliputi kristalografi, mineralogi, endapan mineral, sedimentologi, geokimia, gemologi, mikrofosil, astrogeologi, geologi minyak dan gas, geologi teknik, dan geologi struktur.
Meskipun pemindaian mikroskop elektron merupakan pendatang baru dalam keluarga mikroskop, kecepatan perkembangannya sangat cepat karena banyak kelebihannya.
Instrumen ini memiliki resolusi tinggi dan dapat mengamati detail sekitar 6 nm pada permukaan sampel melalui pencitraan elektron sekunder. Dengan menggunakan senjata elektron LaB6, ini dapat ditingkatkan lebih lanjut menjadi 3nm.
Instrumen ini memiliki berbagai perubahan perbesaran dan dapat disesuaikan secara terus menerus. Oleh karena itu, berbagai ukuran bidang pandang dapat dipilih untuk observasi sesuai kebutuhan, dan gambar jernih dengan kecerahan tinggi yang sulit dicapai dengan mikroskop elektron transmisi umum juga dapat diperoleh pada perbesaran tinggi.
Kedalaman bidang dan bidang pandang sampelnya besar, dan gambarnya kaya akan kesan tiga dimensi. Ia dapat secara langsung mengamati permukaan kasar dengan gambar bergelombang besar dan retakan logam yang tidak rata pada sampel, memberikan orang perasaan hadir di dunia mikroskopis.
Persiapan 4 sampel itu sederhana. Selama sampel balok atau bubuk diberi sedikit perlakuan atau tidak diberi perlakuan, sampel tersebut dapat langsung diamati di bawah mikroskop elektron pemindaian, yang lebih mendekati keadaan alami zat tersebut.
5. Kualitas gambar dapat dikontrol dan ditingkatkan secara efektif melalui metode elektronik, seperti pemeliharaan otomatis kecerahan dan kontras, koreksi sudut kemiringan sampel, rotasi gambar, atau peningkatan toleransi kontras gambar melalui modulasi Y, serta kecerahan dan kegelapan sedang di berbagai bagian gambar. Dengan menggunakan alat pembesaran ganda atau pemilih gambar, gambar dengan perbesaran berbeda dapat diamati secara bersamaan pada layar fluoresen.
6 dapat menjadi sasaran analisis yang komprehensif. Pasang spektrometer sinar-X dispersif panjang gelombang (WDX) atau spektrometer sinar-X dispersif energi (EDX) agar dapat berfungsi sebagai probe elektron dan mendeteksi elektron yang dipantulkan, sinar-X, katodoluminesensi, elektron yang ditransmisikan, elektron Auger, dll. oleh sampel. Memperluas penerapan pemindaian mikroskop elektron ke berbagai metode analisis mikroskopis dan area mikro telah menunjukkan multifungsi pemindaian mikroskop elektron. Selain itu, dimungkinkan juga untuk menganalisis area mikro sampel yang dipilih sambil mengamati gambar morfologi; Dengan memasang attachment pemegang sampel semikonduktor, sambungan PN dan cacat mikro pada transistor atau sirkuit terpadu dapat diamati secara langsung melalui penguat gambar gaya gerak listrik. Karena penerapan kontrol otomatis dan semi-otomatis komputer elektronik untuk banyak probe elektron mikroskop elektron pemindaian, kecepatan analisis kuantitatif telah sangat meningkat.
