Bagaimana mungkin pengukur ketebalan lapisan terkadang mati?
Ini adalah pertanyaan yang sangat luas. karena ketidakakuratan instrumen dapat dikaitkan dengan sejumlah faktor. Berikut ini adalah penyebab utama kesalahan pengukuran untuk pengukur ketebalan lapisan saja.
(1) Gangguan medan magnet yang kuat. Kami melakukan eksperimen langsung dan menemukan bahwa pengukuran akan diubah secara signifikan saat peralatan beroperasi dekat dengan medan elektromagnetik kira-kira 10,000 V. Mungkin mengalami fenomena tabrakan jika sangat dekat dengan medan elektromagnetik .
(2) Unsur manusia. Situasi ini sering terjadi pada pengguna baru. Kemampuan pengukur ketebalan lapisan untuk mengubah sedikit perubahan fluks magnet menjadi sinyal digital memungkinkannya mengukur ketebalan lapisan hingga ke tingkat mikron. Probe mungkin menyimpang dari tubuh yang sedang diuji selama prosedur pengukuran jika pengguna tidak terbiasa dengan instrumen tersebut. Ini akan mengubah fluks magnet dan menghasilkan pengukuran yang salah. Oleh karena itu, saat pertama kali menggunakan alat ini, disarankan agar pengguna dan teman-temannya terlebih dahulu memahami prosedur pengukuran. Pengukuran secara signifikan dipengaruhi oleh posisi probe. Probe harus tetap sejajar dengan permukaan sampel selama pengukuran. Dan probe tidak boleh ditempatkan terlalu lama, agar tidak menimbulkan gangguan medan magnet matriks itu sendiri.
(3) Saat melakukan perbaikan sistem, media yang memadai tidak dipilih. Substrat harus memiliki facet minimal 7mm dan ketebalan 0.2mm. Pengukuran di bawah ambang batas ini tidak akurat.
(4) Dampak dari setiap senyawa yang terkait. Perangkat peka terhadap bahan kimia yang menempel dan mencegah probe mendekati permukaan overlay. Untuk menjamin bahwa probe bersentuhan langsung dengan permukaan lapisan penutup, bahan yang menempel harus dikeluarkan. Permukaan substrat yang dipilih juga harus terbuka dan halus sebelum penyesuaian sistematis dapat dilakukan.
(5) Instrumen gagal. Saat ini, Anda dapat berkomunikasi dengan teknisi atau kembali ke pabrik untuk diperbaiki.
