Mikroskop elektron memiliki beberapa bagian
Mikroskop elektron terdiri dari tiga bagian: laras lensa, perangkat vakum, dan kabinet catu daya.
1. Laras lensa terutama mencakup sumber elektron, lensa elektron, tempat sampel, layar neon, dan detektor. Komponen-komponen ini biasanya dirakit menjadi sebuah silinder dari atas ke bawah.
Lensa elektron digunakan untuk memfokuskan elektron dan merupakan komponen terpenting dalam laras mikroskop elektron. Umumnya, lensa magnetik digunakan, dan terkadang lensa elektrostatis juga digunakan.
2. Alat vakum digunakan untuk memastikan keadaan vakum pada mikroskop, sehingga elektron tidak akan terserap atau dibelokkan pada jalurnya. Ini terdiri dari pompa vakum mekanis, pompa difusi, dan katup vakum, dan terhubung ke laras lensa melalui pipa knalpot.
3. Kabinet daya terdiri dari generator tegangan tinggi, penstabil arus eksitasi, dan berbagai unit kontrol penyesuaian.
