Perbedaan antara mikroskop elektron dan mikroskop metalografi
Prinsip pemindaian mikroskop elektron
Scanning ElectronMicroscope (SEM) adalah sistem yang kompleks. Teknologi optik elektronik, teknologi vakum, struktur mekanik halus, dan teknologi kontrol komputer modern terkonsentrasi. Pemindaian mikroskop elektron (SEM) mengumpulkan elektron yang dipancarkan oleh senjata elektron menjadi berkas elektron halus melalui lensa elektromagnetik multistage di bawah aksi tegangan tinggi yang dipercepat. Pemindaian permukaan sampel dapat merangsang berbagai informasi, yang dapat diterima, diperkuat, ditampilkan, dan dicitrakan untuk menganalisis permukaan sampel. Elektron yang datang berinteraksi dengan sampel untuk menghasilkan jenis informasi seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1. Distribusi intensitas dua dimensi dari informasi ini bervariasi menurut karakteristik permukaan sampel (karakteristik ini meliputi morfologi permukaan, komposisi, orientasi kristal, karakteristik elektromagnetik, dll. .). Informasi yang dikumpulkan oleh berbagai detektor diubah menjadi sinyal video secara berurutan dan proporsional, dan kemudian ditransmisikan ke kinescope pemindaian sinkron untuk memodulasi kecerahannya, sehingga diperoleh gambar pemindaian yang mencerminkan kondisi permukaan sampel. Jika sinyal yang diterima oleh detektor didigitalkan dan diubah menjadi sinyal digital, maka dapat diproses lebih lanjut dan disimpan oleh komputer. Pemindaian mikroskop elektron (SEM) terutama digunakan untuk mengamati sampel tebal dengan perbedaan ketinggian dan kekasaran yang besar, sehingga menyoroti efek kedalaman medan dalam desain dan umumnya digunakan untuk menganalisis retakan dan permukaan alami tanpa pemrosesan manual.
Mikroskop elektron dan mikroskop metalografi
Pertama, sumber cahayanya berbeda: mikroskop metalografi menggunakan cahaya tampak sebagai sumber cahaya, dan mikroskop elektron pemindaian menggunakan berkas elektron sebagai sumber cahaya untuk pencitraan.
Kedua, prinsipnya berbeda: mikroskop metalografi menggunakan prinsip pencitraan optik geometris untuk mengambil gambar, pemindaian mikroskop elektron menggunakan berkas elektron berenergi tinggi untuk membombardir permukaan sampel, yang menggairahkan berbagai sinyal fisik pada permukaan sampel, dan kemudian menggunakan detektor sinyal yang berbeda untuk menerima sinyal fisik dan mengubahnya menjadi informasi gambar.
Ketiga, resolusinya berbeda: karena interferensi dan difraksi cahaya, resolusi mikroskop metalografi hanya dapat dibatasi hingga 0.2-0.5um. Karena pemindaian mikroskop elektron menggunakan berkas elektron sebagai sumber cahaya, resolusinya dapat mencapai 1-3nm, sehingga pengamatan struktur mikro mikroskop metalografi termasuk dalam analisis skala mikron, dan pengamatan struktur mikro pada mikroskop elektron pemindaian termasuk dalam analisis skala nano .
Keempat, kedalaman bidang berbeda: Umumnya kedalaman bidang mikroskop metalografi adalah antara 2-3um, sehingga kehalusan permukaan sampel sangat tinggi, sehingga proses preparasi sampel relatif rumit. Sebaliknya, mikroskop elektron pemindaian memiliki kedalaman bidang yang besar, bidang penglihatan yang luas, dan gambar tiga dimensi, yang dapat secara langsung mengamati struktur halus permukaan tidak rata dari berbagai sampel.
