Metode Pengukuran Kompensasi Suhu Pengukur Ketebalan Lapisan
Metode pengukuran kompensasi suhu dari pengukur ketebalan lapisan mencakup langkah kalibrasi koefisien suhu, langkah kalibrasi awal nol dan langkah kerja pengukuran ketebalan, dan akhirnya menghitung nilai ketebalan lapisan aktual dx; menggunakan korelasi antara perubahan medan elektromagnetik kumparan induktor dan suhu, yaitu, dalam Nilai di ujung tak terhingga diukur sekali selama proses pengukuran, dan koefisien perubahan suhu di ujung tak terhingga sebanding dengan koefisien perubahan suhu ketika probe pengukur dekat dengan substrat objek yang diukur untuk pengukuran. Menggunakan fitur ini untuk mewujudkan kompensasi suhu dapat mengurangi kesalahan pengukuran suhu sebanyak mungkin. Kesalahan pengukuran metode ini pada dasarnya dapat dikontrol dalam 1 persen, sedangkan standar nasional kita saat ini membutuhkan dalam 3 persen. Sebagai perbandingan, kesalahan pengukuran metode ini dapat dikontrol dalam 1 persen. Akurasi pengukuran telah mencapai akurasi pengukuran mesin merek internasional, dan masih berada pada level yang sangat tinggi di China.
