Penerapan Mikroskop Inframerah pada Perangkat Mikro di Industri Elektronik
Arah aplikasi: fungsi mikroskop inframerah dalam pengukuran suhu perangkat semikonduktor mikro.
Kedua, latar belakang:
Dengan berkembangnya nanoteknologi, miniaturisasi top-down semakin banyak diterapkan di bidang teknologi semikonduktor. Kita biasa menyebut teknologi IC sebagai teknologi "mikroelektronik", karena ukuran transistor berada pada level mikron (10-6 meter). Namun teknologi semikonduktor berkembang sangat pesat, akan berkembang satu generasi setiap dua tahun, dan ukurannya akan berkurang menjadi setengah dari ukuran aslinya. Inilah Hukum Moore yang terkenal. Sekitar 15 tahun yang lalu, semikonduktor mulai memasuki era sub-mikron, yaitu kurang dari mikron, dan kemudian ada era sub-mikron yang dalam dan jauh lebih kecil dari mikron. Pada tahun 2001, ukuran transistor bahkan menjadi kurang dari 0,1 mikron, yaitu kurang dari 100 nanometer. Oleh karena itu, ini adalah era nano-elektronik, dan sebagian besar IC masa depan akan terbuat dari teknologi nano.
Ketiga, persyaratan teknis:
Saat ini, bentuk kegagalan utama perangkat elektronik adalah kegagalan termal. Menurut statistik, 55% kegagalan perangkat elektronik disebabkan oleh suhu yang melebihi nilai yang ditentukan. Dengan meningkatnya suhu, tingkat kegagalan perangkat elektronik meningkat secara eksponensial. Secara umum, keandalan kerja komponen elektronik sangat sensitif terhadap suhu, dan keandalan akan menurun sebesar 5% untuk setiap kenaikan suhu perangkat sebesar 1 derajat pada level 70-80 derajat. Oleh karena itu, penting untuk mendeteksi suhu perangkat dengan cepat dan andal. Karena ukuran perangkat semikonduktor semakin kecil, persyaratan yang lebih tinggi diajukan untuk resolusi suhu dan resolusi spasial peralatan deteksi.
Keempat, potret peta panas di tempat (lokasi: model lembaga penelitian ilmiah terkenal: INNOMETE SI330)
